一、PVD涂层制备过程中的常见外表缺点
1、大液滴
是PVD涂层制备过程中，高能离子轰击靶材获得高堆积功率工况下的典型缺点，一般颗粒的三维尺度比较均匀，大于1.5um，是严重影响刀具加工精度的涂层缺点，对刀具的重复定位精度和加工件的外表质量有影响。
2、结瘤与片状凸出
是由于真空室内的颗粒或者基体外表的颗粒在涂层堆积曾经附着在基体外表，跟着堆积存在于涂层当中，往往是较为松软的涂层缺点，缺点的面积尺度往往大大的大于高度，在运用中易于剥落。
3、空泛或盘形坑
PVD涂层中存在与涂层的结合不牢的外来颗粒在高应力效果下进行自发掉落，构成空泛缺点；基体之间存在污染，在真空室冷却时由于热应力效果而掉落构成盘形坑或露出基体缺点。
4、针孔或气泡
当基体外表存在狭窄的凹坑时，涂层堆积过程中在凹坑边优先生长，逐渐构成涂层针孔缺点，而进行外表抛光处理时，这种缺点外表一层薄薄的涂层被磨掉，露出出来。气泡是100-400nm微颗粒，真空室内构成片状，当他们穿过等离子体时能够得到电荷，这种离子能够到达基体外表，并且在电荷的效果下被固定在基体外表，堆积过程中构成气泡式缺点。
二、处理PVD涂层外表缺点的常用办法
1、真空抛光处
真空腔体以及内部部件的气体放出量，和材料的外表积直接相关。固体外表的原子密度大约为2×1019 m-2，考虑到外表的高低不平，实践的固体外表会吸附大量的气体分子。通过抛光使外表更加平坦，能够大大减小外表积，从而削减外表吸附的气体分子。抛光主要有玻璃丸喷砂和电解抛光两种手法。
2、超声波清洗
超声波清洗是使用超声波在液体中的空化效果、加速度效果及直进流效果对液体和污物直接、直接的效果，使污物层被涣散、乳化、剥离而到达清洗意图。向液体导入超声波后，液体的激烈运动使局部发生压强差。压强低的部分会发生大量的气泡，当压强从头升高时，这些气泡会在瞬间决裂，从而在液体中发生冲击波。冲击波会将固体外表的油污剥离。超声波清洗用的液体一般采用酒精或丙酮。通过超声波清洗的部件放到大气中后，酒精或丙酮会马上蒸腾，不会在部件外表留下水垢。
