这种技术具有渗氮速度快、组织结构可控、适用于各种材料、变形小、易于实现局部渗氮和均匀渗氮等特点，同时劳动条件好，对环境污染轻。离子氮化设备的基本原理是利用高能量的氮离子轰击工件表面，通过动能转化为热能加热工件，同时氮离子吸取电子还原成原子被工件表面吸收并向内层扩散。此外，离子轰击工件表面还会产生阴极溅射，溅射出的铁离子与氮离子化合形成氮化铁，FeN重新附着在工件表面，然后分解为Fe2N和Fe3N并放出氮原子向工件内扩散。
工艺
等离子渗氮
温度
550°C
气体
高纯度工业气体
设备结构
800*1000
平均功率
30KW·h
冷却水
纯水 3bar、5m³/h
